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OTF-1200X-4-RTP-SL是一款能够快速升温和降温的管式炉,其通过红外灯管加热达到快速升温的效果(最大升温速率> 50°C/S),通过炉体滑动来达到快速冷却效果(最大降温速率>10°C/S)。
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OTF-1200X-IR-IISL是一款双温区红外加热快速热处理炉,其炉管直径为4英寸。此款设备可使样品最大升温速率达到50℃/S,此款设备不仅可对样品进行快速热处理,还可采用HPCVD方法来生长二维晶体(一个加热区用来盛放固体蒸发原料,另一个加热区用于沉积样品)。
RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速热处理) 管式炉。包括多通道质子流量计控制系统,在操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。 这款设备是采用12KW的红外灯加热,最快升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制,仪表控温精度是 +/-1℃。RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。