产品摘要
RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速热处理) 管式炉。包括多通道质子流量计控制系统，在操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。 这款设备是采用12KW的红外灯加热，最快升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制，仪表控温精度是 +/-1℃。RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
主要特点
· 快速升温，最高达50℃/s。
· 配有多通道质子流量计控制系统，在操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。
· 超大管径φ110mm。
· 最高温度可达900℃。
· 法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。
· 开门断电。
基本参数
· 工作温度：最高900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(长期)
· 最快升温速率：室温~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s
· 法兰：KF-25D型不锈钢高真空法兰
· 加热区长度：190mm
· 加热元件：8根红外灯管(每根1.5KW)
· 最大功率：12KW(>60A 保险)
· 设备电源：AC220V/50HZ 单相
· 循环水流量:0.5 m3/h
· 标配流量计量程范围：16-160 ml/min
· 多通道质子流量计系统参数
· 输入电压：AC 220V/50Hz单相
· 功率：23W
多通道质子流量计控制系统
· 适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。
· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
· 采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作。
· 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
