产品摘要
OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其最高工作温度可以达到1200℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。
主要特点
·5英寸的石英管和铰链法兰，宽大的腔体可作为箱式气氛炉用（避免了箱式炉炉膛污染问题）
·可用于四英寸基片退火
·可以作为模块，DIY ALD CVD PVD 蒸发炉 回转炉等（具体请致电）
·采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率
·采用ABB电器元件
基本参数
·最高工作温度：1100℃（＜0.5小时） 连续工作温度：1000℃
·建议加热速率：≦10℃/min
·加热区长度：300mm 加热元件：掺钼铁铬铝合金
·电压：AC 220V 50Hz 功率：3KW
炉体结构
·配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封
·石英管口径可选：130mm或100mm
·配有2个氧化铝管堵，使用设备时应放在炉管两端，保证恒温区和法兰密封性
·右端法兰为KF25接口，用于连接真空泵
·真空度：10-2torr (采用机械泵)
·安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MP
·采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
·带有超温和断偶保护
外形尺寸
·炉盖关闭尺寸：440mm（长）×440mm（宽）×460mm（高）
·带法兰支撑（每个260mm），总长：960mm（长）×440mm（宽）×460mm（高）
·炉盖打开尺寸：440mm（长）×440mm（宽）×700mm（高）
·带法兰支撑（每个260mm），总长：960mm（长）×650mm（宽）×700mm（高）
·温度控制器单位：260mm（长）×350mm（宽）×410mm（高）
·净重：48Kg
