OTF-1200X-PESDFG-50 双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱
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OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，连接循环手套箱。此款设备中石英炉管与循环手套箱连接，可利用CVD方法，将样品处理后直接移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在实验室中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
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商品货号：ECS001881
- 上架时间：2022-06-13
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库 存：10000
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品 牌：进入合肥科晶品牌馆
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产品摘要
OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，连接循环手套箱。此款设备中石英炉管与循环手套箱连接，可利用CVD方法，将样品处理后直接移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在实验室中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
产品特点
▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接；
▪ 两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果。
加热炉参数
▪ 连续工作温度：1100℃
▪ 两个炉体都可设置30段升降温程序
▪ 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）
▪ 电源：AC220，50Hz 最大功率：3KW
手套箱参数
▪ 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm
▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接
真空系统
▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；
▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
▪ 真空度可达10-2Torr。
产品尺寸
▪ 炉体尺寸：1600mm(L) ´430mm (W) ´ 500mm(H)
▪ 手套箱尺寸：780mm(L)´ 700mm(W) ´ 650mm(H)
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- 产品名称：OTF-1200X-PESDFG-50 双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱
- 产品品牌：合肥科晶
