产品介绍
2200℃高温顶部籽晶溶液生长炉(TSSG)是一套有高频感应加热系统和密封石英腔室组成,采用 28 段可编程温度控制器控制升温的晶体生长炉系统,带有石墨坩埚与提拉机构,可用于碳化硅、蓝宝石等晶体的生长。
功能特点
· 采用高频感应加热系统进行加热,控温系统采用欧陆仪表 PID 控温,控温精度可达±0.1℃
· 石英腔体配合法兰进行密封,可以实现在真空和气氛保护下运行
· 含有真空密封旋转提拉机构便于用户操作
加热系统
工作电压: 三相 380VAC ,50Hz (需配 60A 空气开关)
加热电流:3-28A (需配 60A 空气开关)
最大输入功率: 15KW
振荡频率: 20-100KHZ (固定频率)
感应线圈: 220mm(ID) x 65mm(H)
空气冷却: 后风扇
保护系统:带有自动水压、过热、功率过高保护
控温系统
采用欧陆仪表 Eurotherm 控制温度,控温精度可以达到±0.1℃;
采用 PID 方式控温,可设置 28 段升降温程序
采用一根 C 型热电偶进行测温,热电偶位置设置在石墨坩埚底部。
最高加热温度:2200℃(<1 小时)
长期使用温度:2000℃
设备尺寸
约长*宽*高=1173L×1190W×2070(含提拉机构)Hmm
重量
约 200kg