产品概述
SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉（采用Ar气电弧对样品熔融，提拉装置提拉），其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体（带有水冷夹层），真空度可达10-5Torr，此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶，如Ti单晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。
腔体
采用304不锈钢腔体，带有水冷夹层，可通入冷却水
腔体上安装有石英窗口，以便观察样品
腔体真空度∶10-5Torr（采用分子泵）
腔体尺寸∶Φ 257*360mm
电弧枪
共有4个电弧枪，可让样品得到均匀的温场（电弧枪都带有冷却水）
钨电极直径为蛋 4mm
电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节
起弧电源∶ 18 V/ 185 A 电压380V
熔炼温度可达3000℃
控制单元
可显示和设置单晶生长的参数（起弧电流，提拉杆转速，提拉行程和转速）
设备中配有一分子泵系统（机械泵+涡旋分子泵）
抽气速率∶100L/S
可使设备腔体的真空度达到10-5Torr（40分钟内）
设备尺寸
800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)
