产品概述
SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶体生长炉(采用悬浮熔炼对金属样品熔化,最高温度可达2000℃)。此系统采用组成∶高频感应加热电源,高真空腔体,水冷铜坩埚(悬浮熔炼)和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染,可得到高纯度的金属(合金)单晶。
设备结构
·40KW感应加热电源,用于悬浮容炼
·特殊设计水冷铜坩埚,可熔炼60g样品
·高真空腔体,真空度可达10-6torr(采用分子泵系统)
·精密可旋转(籽晶杆可旋转)提拉机构,提拉速度为0.1mm/h-24mm/h
感应加热电源
·最大功率∶40KW
·频率∶80-200KHz
·电流∶10-100A
·电压∶ 380V +/-10%,三相,50/60Hz
·水冷却∶水压≥0.2MPa
·水流量∶≥10L/min