全自动双炉滑动 CVD 系统（1200℃ Max）
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全自动双炉滑动 CVD 系统（1200℃Max） OTF-1200X-S2-50SL-CVDOTF-1200X-S2-50SL-CVD 是一款全自动控制的 CVD 系统，可存储预制实验参数自动生成工艺流程，预设工艺流程，存储预制流程，调用工艺流程，系统自动执行工艺流程，并记录工艺流程。该系统由三个模块组成，双炉体滑动加热系统，真空系统，四通道气体质量流量计控制系统，独立开发的逻辑软件对以上三套系统进行工艺预设编程性控制。
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商品货号：ECS001827
- 上架时间：2022-06-02
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市 场 价：￥0元
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品 牌：进入德国艾卡品牌馆
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产品介绍
全自动双炉滑动 CVD 系统（1200℃Max） OTF-1200X-S2-50SL-CVDOTF-1200X-S2-50SL-CVD 是一款全自动控制的 CVD 系统，可存储预制实验参数自动生成工艺流程，预设工艺流程，存储预制流程，调用工艺流程，系统自动执行工艺流程，并记录工艺流程。该系统由三个模块组成，双炉体滑动加热系统，真空系统，四通道气体质量流量计控制系统，独立开发的逻辑软件对以上三套系统进行工艺预设编程性控制。
技术参数
名称型号 | 全自动双炉滑动 CVD 系统（1200℃ Max） OTF-1200X-S2-50SL-CVD |
产品特点 | ·采用双炉体滑动结构。 ·采用触控一体机控制三个模块系统。 ·可存储实验参数生成工艺曲线，可调取工艺曲线一键运行设备。 ·采用双层壳体结构，并带有风冷系统。 ·炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失。 |
加热炉系统 | ·电压：单相 AC220V 50/60Hz ·最高温度: 1200℃ (<30min) ·额定温度: 1100℃ ·推荐升温速率：≤10℃/min ·加热区长度 200mm ·两台加热炉最大功率：2.4KW ·高纯石英管Ф50*1500mm ·设备总功率 4KW ·加热炉是手动滑动，可以选配电动（一台炉子固定，一台炉子滑动） |
温控系统 | · 包含一款 518 系列型温度控制器 · PID 自动控温系统 · 智能化 30 段可编程控制 · 默认 DB9 PC 通讯连接端口 · 控温精度：±1℃ 所有的电气元件都通过 UL 或 MET 认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试 |
不锈钢密封法兰系统 | · 一套Ф50 不锈钢密封法兰 · 法兰和石英管采用，O 型圈+压环+O 型圈，螺纹压紧密封 · 左侧法兰装有机械压力表、针阀、G1/4 进气口、机械泄压阀（压力超过 0.02MPa 自动泄压） · 右法兰装有压力传感器、电磁泄压阀，KF25 抽气口 |
供气系统 | ·四通道质子流量控制系统可实现气体流量精确控制（±0.02%） ·流量范围: 一路 0-100SCCM 二路 0-200SCCM 三路 0-200SCCM 四路 0-500SCCM ·气体进出口配件：6.35mm 的聚四氟管或不锈钢管； ·电磁阀控制气体进出 ·可以通过触控一体机进行流量设置 |
真空系统 | · 配套机械泵，真空度可以达到 10-2 ttor · 配套分子泵，真空度可以达到 10-5 ttor（选配） |
外形尺寸 | · 外形尺寸：2100*750*1220mm（长*宽*高 ） |
重量 | 约210KG |
质保期 | 1 年（不包含炉管，氟胶 O 型圈和加热元件等损耗件） |
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- 产品名称：全自动双炉滑动 CVD 系统（1200℃ Max）
- 产品品牌：德国艾卡
