产品概述
SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉,可针对于材料的实验探索,也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以是拉督种氧化物单晶和金属单晶,如蓝宝石 GGG.YAG.IaAlO3.Si和Ge 等,最高温度可达2100℃,最大可长出晶体尺寸为3英寸。
技术参数
感应射频功率为:25KW,射频:0.2 - 20 KHz
提拉速度∶0.1- 20 mm/h,籽晶杆旋转速度0-40 RPM
最大提拉行程∶50CM
最大可熔容隔温度为∶2100℃
输入电源∶三相,380v,25KW
真空腔体尺寸为 ∶50 cm dia. X 70 cm h,其真空度可以达到10-3 torr(用机械泵)10-5 tor(用扩散泵)
冷却水需求∶
所需水压 0.13~~0.18MPa
所雪水流量60 L/ninute
冷却水会同多炉腔体夹层和籽晶杆
产品尺寸
炉体∶L880x W1250x H2640mm
控制柜∶L680x W540x H1700mm
中频柜∶L965xW 812xH 1219mm
产品净重:1.5 T