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产品概述
VBF-1200X-TSSG是一款顶部籽晶法晶体生长炉,可利用助溶剂法生长各种材料单晶。配备精密旋转提拉机构可用于顶部籽晶助溶剂法生长各种晶体材料,提拉和旋转速度采用PLC触摸屏控制,操作简便。箱式炉采用氧化铝纤维作为炉膛材料,以电阻丝为加热元件,其腔体尺寸为φ240mm×200mm(H),最高温度可达1200℃。采用欧陆仪表进行控温,可根据不同的客户需求来设定升降温程序(最高24段),控温精度可达±0.1℃。
技术参数
产品特点
.由1200℃井式箱式炉与精密旋转提拉机构两部分组成,可用于TSSG法生长各种材料单晶
·最高温度可达1200℃
·提拉和旋转速度采用PLC触摸屏控制,操作简便
·炉体可移动,装样方便
·箱式炉采用双层壳体结构,使得表面温度<60℃
工作电源
AC220 50/60Hz 功率∶ 4K
炉体结构参数
加热元件∶掺钼铁铬铝合金电阻丝
炉膛材料∶氧化铝多晶纤维
内部加热区尺寸∶中240mm×200mm(H)
工作温度
最高工作温度∶1200℃(<1h)
连续使用温度∶1100℃
控温方式
· 采用欧陆仪表进行控温,控温精度∶±0.1℃
· 智能化24段可编程控制 ,可设置24段升降温程序
· 升温速率∶0-10℃/min(建议≤5℃)
籽晶提拉旋转机构
·PLC触摸屏控制,操作方便
·步进电机控制
·籽晶最大直径∶30mm
·提拉行程∶250mm
·提拉速度∶0.1-50mm/h
·旋转速度∶0.1-23r/min
·快速升降速度∶50mm/min
产品尺寸
650mm L*540mm W*1950mm H
两根刚玉管∶p18 x 600(mm)
产品重量
1.20kg
质保期
一年保质期,终生维护(设备相关耗材如o型圈、加热元件等不在保修范围内)