不锈钢腔体尺寸：外径φ219*内径φ207*高度 600mm 配套不锈钢支架尺寸：φ205*385mm 可放置样品最大尺寸：φ200*350 mm 可放置样品最大重量：10 公斤 密封法兰采用水冷法兰方式，密封法兰和腔体法兰之间采用胶密封方式。密封法兰预留有两个进气口、三个出气口、1个铠装热电偶口和 1 个石英观察窗口两个进气口尺寸：1/4 英寸双卡套接头，其中一个进气口通过气管直接通到不锈钢腔体的底部。 两个出气口尺寸：1 个 KF25 接口（用于接真空泵，配有密封球阀），一个 KF16 接口（配有密封球阀），一个 KF25 接口（预留）；一个石英观察窗口尺寸：KF50； 标配两个氧化铝管堵，一个中间带孔用于石英窗口观察，一个中间不带孔。（可以根据客户要求选配石英管堵） | 
